无电极 Z-Pinch™ 10 Watt EUV 光源 EQ-10
EQ-10采用了升级版的无电极Z-pinch™技术，具有紧凑易用，高可靠性以及低成本等特点非常适用于测量以及研究等应用领域。该款光源已经在全球交付30多台，均得到客户的一致好评，现已经成为EUV用户的主要光源来源。
产品特点
● 独特的无电极Z-Pinch技术（专利正在申请中）
低电极碎屑/低成本
● 使用Xenon将10W转换为2pi
产品功率充足适用于各种应用
● 高达2 kHz的重复频率
可以一周七天，每天24小时连续工作
●小等离子体尺寸
直径小于1mm
● 小型紧凑性价比高
每EUV瓦特的成本低
占地面积小
● 符合CE和SEMI S2-0715标准
产品应用
● EUV测量
● EUV抗蚀剂显影
● 缺陷检查
● EUV显微
原理介绍
为了满足不同应用的使用需求，该产品在使用上进行了如下的优化，以期更加地用户友好：1、用户可以根据对峰值功率和峰值亮度的不同来调节EUV的光输出。2、在典型操作中，等离子体的直径通常小于1mm。3、系统外侧留有光学接口，方便客户进行应用程序设备的连接。4、自定义彩色用户页面，客户可跟根据需求选择手动或者自动菜单。
