EQ-99X内置LDLS™光源，使得该产品具有极其出色的空间以及功率稳定性，可以充分满足成像以及光谱应用领域对光源高亮度、宽光谱稳定性的需求，非常适用于宽光谱范围多次重复测量。EQ-99X采用已获专利的激光驱动光源技术TM和超洁净结构，是需要超长灯泡寿命和高宽带亮度应用的理想选择。

超高亮度、超长寿命、超宽光谱的紧凑型光纤耦合输出激光驱动光源

生命和材料科学领域的先进成像和分析光谱应用所需光源需要满足两点需求：一是可以覆盖宽光谱范围，二是可以提供超高亮度。为了满足以上发光需求，传统方法一般是使用多个光源组合使用（例如钨/卤素灯，氙弧灯或氘灯）。这些光源一般都是采用电极驱动，灯泡寿命极短，在工作期间，光源的输出功率会不断下降，需要频繁更换灯泡，这就不可避免的带来产品成本费用升高以及发光效率降低等问题。为了解决上述问题，Energetiq研发出了一款激光驱动光源LDLS™，这是光源史上革命性的突破，该款光源具有宽光谱范围从深紫外到可见光到近红外范围均可覆盖、高亮度以及光源寿命相比于传统光源高出整整一个数量级等特点。

EQ-99X-CAL内置激光驱动光源™LDLS，单个光源就可实现200 nm 到 800 nm范围内的光谱全覆盖，350 nm波长处的辐照度比传统的氘灯和石英窗卤素钨灯高出整整一个数量级。从成本来看，EQ-99X-CAL使用寿命远超9000小时的传统值，重新校准时间间隔更长，产品总体成本大幅下降。从置信度来看，EQ-99X-CAL的参数性能完全符合Bentham设备公司的校准测试标准，Bentham的校准技术已获得德国联邦物理技术研究院 (PTB)认证。每套EQ-99X-CAL均附有一份校准证书，包括校准数据和不确定性分析。可根据客户要求提供样品校准报告。

高亮度，长寿命，宽带激光驱动光源

EQ-77采用LDLS技术，在宽带白光光源中可以提供最高的辐射和辐照度。EQ-77外部是一个小型紧凑的灯罩，内部采用超洁净结构，二者相结合，从而保证了该产品具有超长的使用寿命以及超高的空间稳定性。在170nm-2100nm的波长范围内，EQ-77可以实现光谱全覆盖以及后反射镜单光束输出，因此可应用到生命科学以及材料科学等众多领域中。

高亮度，长寿命，宽带激光驱动光源

EQ-400采用LDLS技术，在宽带白光光源中可以提供最高的辐射和辐照度。EQ-400外部是一个小型紧凑的灯罩，内部采用超洁净结构，二者相结合，从而保证了该产品具有超长的使用寿命以及超高的空间稳定性。在170nm-2100nm的波长范围内，EQ-400可以实现光谱全覆盖以及后反射镜单光束输出或者双光束输出，因此可应用到众多领域中。

高亮度，长寿命，宽带激光驱动光源

EQ-9采用LDLS技术，在宽带白光光源中可以提供最高的辐射和辐照度。EQ-9外部是一个小型紧凑的灯罩，内部采用超洁净结构，二者相结合，从而保证了该产品具有超长的使用寿命以及超高的空间稳定性。在170nm-2100nm的波长范围内，EQ-9可以实现光谱全覆盖以及后反射镜单光束输出或者双光束输出，因此可应用到众多领域中。

EQ-10采用了升级版的无电极Z-pinch™技术，具有紧凑易用，高可靠性以及低成本等特点非常适用于测量以及研究等应用领域。该款光源已经在全球交付30多台，均得到客户的一致好评，现已经成为EUV用户的主要光源来源。

用于HVM的EUV光源的一大优势就在于可以在10 kHz或更高的脉冲重复频率下运行。光源本身具有小型紧凑成本低且用户友好等特点，加之采用Z-pinch™技术，非常适用于计量以及研究等应用。