无电极 Z-Pinch™ 高脉冲重频10 kHz EUV 光源 EQ-10HR EQ-10HR
用于HVM的EUV光源的一大优势就在于可以在10 kHz或更高的脉冲重复频率下运行。光源本身具有小型紧凑成本低且用户友好等特点，加之采用Z-pinch™技术，非常适用于计量以及研究等应用。
产品特点
● 独特的无电极Z-Pinch技术（专利正在申请中）
低电极碎屑/低成本
● 10 kHz的脉冲频率
支持大批量制造（HVM）模拟，
可以一周七天，每天24小时连续工作
●小等离子体尺寸
直径小于1mm
● 小型紧凑性价比高
占地面积小
● 符合CE和SEMI S2-0715标准
产品应用
● 加速EUV光学测试
● EUV测量
● EUV抗蚀剂显影
● 缺陷检查
● EUV显微
原理介绍
EQ-10HR是一个完全独立的系统，可以集成到其他设备中，该系统内部包括无电极Z-pinch光源组件、磁悬浮真空泵子系统、气体输送子系统，功率输送子系统和电子控制设备。EQ-10HR能够将高达0.5 mJ /脉冲的宽带EUV传输到2pi球面度中，并且将以最高10 kHz的脉冲重复频率连续运行。
为了满足不同应用的使用需求，该产品在使用上进行了如下的优化，以期更加地用户友好：1、用户可以根据对峰值功率和峰值亮度的不同来调节EUV的光输出。2、在典型操作中，等离子体的直径通常小于1mm。3、系统外侧留有光学接口，方便客户进行应用程序设备的连接。4、自定义彩色用户页面，客户可跟根据需求选择手动或者自动菜单。
