FemtoFAB——工业用飞秒激光微加工系统

 FemtoFAB是应用于工业领域的“交钥匙”级飞秒激光微纳加工系统。根据特定工业领域微加工应用实际要求，特别优化系统配置；适用于几乎任何材料进行超快激光切割，超快激光刻蚀，超快激光专控和超快激光3D铣削(＞2.4GW峰值功率)。系统提供激光安全防护，并将所有功能统一由SCA（超快激光微纳加工专用）工程软件界面进行控制。

飞秒微纳加工系统FemtoFAB基于当今激光领域最前沿的超快(飞秒）激光技术。以飞秒激光技术为基础的FemtoFAB微加工系统，提供激光同步移动控制和/或集成的扫描振镜系统控制，适用于不同的工业微加工应用需要，提供最优的加工速度及加工精度。

高级加工
具有76MHz(振荡器）和可达1MHz（放大器）脉冲重复频率的高可靠工业级飞秒激光系统，与Aerotech超精密线性定位平台及扫描振镜实现精确协同同步，在高速“melt-less”的微纳加工领域提供显著性能优势。

纳米级分辨率
高分辨率样品定位系统（XYZ Aerotech线性平台）与激光光束定位系统（扫描振镜）同步，配合激光脉冲拾取器在空间，时间和能量上实现全面控制，可以加工难处理的产品，达到纳米分辨率。

机器视觉
机器视觉系统由与Aerotech线性平台同步的高分辨率CCD相机组成，为系统提供机器视觉，是用户随时掌握一切有关代加工样本的位置，形状等一切相关信息……并根据机械视觉信息相应调整加工脉冲。

SCA工程自动软件
System Control Application(SCA)-由WOP自主开发的软件可以方便地控制激光微加工过程。
SCA合并所有硬件驱动到一个软件，使他成为一个交钥匙方案。集成不同的装置不再是用户的工作：
1.不需要机器代码编程
2.直观的用户界面
3.WYSIWYG（所见即所得）轨迹预览
4.支持HPGL-标准打印机控制语言
5..bmp, .dxf,.stl文件格式

参数：
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样品性质
材料 —— 任何固态物质，液态混合物
规格（mm） —— 150×150×150
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光速形状和控制
脉冲选择器 —— 集成，自动控制
扫描振镜 
扫描范围（mm） —— 达10m/s，5×5（4f光学系统）
聚焦镜 —— 高数值孔径非球面透镜或目标
焦距（mm） —— 1.45-18.4
SLM
像素 —— 1920×1080
面板尺寸（mm） —— 15.36×8.64
寻址 —— 16bit
操作方式 —— Refection
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定位
种类 —— XYZ,线性激动，十字轴承，空气轴承
加工速度（mm/s）（max.）——350
工作范围（mm） —— 160×160
分辨率（nm） —— 1
定位精度（nm） —— ±300
重复定位精度（nm）—— ±50
定位稳定性（nm） —— 3
样品夹 —— 真空吸盘
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激光器规格
激光介质 —— Yb：KGW
波长 —— 1028nm±5nm
功率（W） —— 4,6,8,10
振荡器输出功率（W） —— 0.7-1.5
脉冲能量（max，mJ） —— 1
重复频率（kHz） —— 200,600,1000
脉宽 —— ＜200fs-10ps（可调）； ＜80fs（振荡器）
光束质量 —— M²＜1.2
输出脉冲稳定性 —— ＜1%RMS
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倍频发生器
倍频 —— 二倍频（515nm）， 三倍频（343nm）， 四倍频（258nm）

转换效率（@200kHz）—— ＞50%（二倍频）；＞30%（三倍频）；＞10%（四倍频）
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软件控制应用特点
光束功率控制 —— 激光输出；电动衰减器
位移台控制 —— 2.5D微加工；3DXYZ控制
控制界面 —— 算法窗口，虚拟操纵杆或GUI操纵杆
图形和矢量格式 —— *.bmp,*plt
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